如何保持和維護潔凈室的潔凈度？

對于潔凈室的潔凈度的維持和控制，除了硬件設備配合投資外，也需要良好的軟件--管理制度來配合，方能維持良好的潔凈度。半導體潔凈室內的微污染來源，經測試分析結果，作業人員占約80％。實驗數據顯示，作業人員進出潔凈室時塵埃有顯著的增加，有人動作時，潔凈度馬上劣化，可見潔凈度劣化之原因，人是主要因素。即使人是蕞大的污染源，但潔凈室總是需要有人操作的，那么該怎么辦呢？

 一、作業人員之管理，在潔凈室內污染來源80％來自作業人員，因此若能使作業人員依潔凈室管理辦法確實執行管理，而所有人員也均能配合實施，則污染源的產生可說已減少大半。

 二、進入潔凈室之人員，必須要具備有達成高潔凈度標準，并要維持蕞好狀態的觀念和規范:

1、進入潔凈室的人員應嚴格要求執行人身凈化制度、路線和順序。退出潔凈室時，必須按如上順序、路線進行，不允許將潔凈用品帶門廳。

2、若有吹淋室，必須按規定進行吹淋后,方可進入潔凈室內。同時，嚴格按照風淋室的規格和使用要求，控制每次進入風淋室風淋的人數，不允許正在風淋室強行關閉運行風機或電源。一般經過風淋，人身表面散發的灰塵粒子數減少40—60% 。

3、為不干擾室內的潔凈氣流型式，在作業區上流側不應放置物品，回風口附近不要堆放物；送風孔板下不應堵塞和堆放物品，生產操作應在潔凈工作臺或氣流的上游進行。

4、不允許將與生產無關的和容易產塵的物品帶入潔凈室內。

5、嚴禁在潔凈室內吸煙、飲食和進行非生產性活動。

6、進入潔凈室前，個人物品須放入指定的柜子，去掉化妝和首飾，換上指定的潔凈服、鞋。

7、戴帽時，應將頭發全部遮住，鞋套應將褲腳下擺緊緊裹在鞋套。

8、脫潔凈工作服時，要避免工作服觸及地面、桌子與其它物品，一般要由下至上脫去工作服，并存放在柜內或掛在規定的處所。

9、退出潔凈室時，在更衣區前不允許脫掉潔凈工作服；脫去工作服后若再進入潔凈室內，仍需按進入潔凈室的規定順序進行。

 三、作業人員進入潔凈室數目以維持蕞小限度為原則（愈小愈好），并須依潔凈室進出標準流程進出潔凈室。退出潔凈室時，可以不需要經過空氣吹淋而進入更換區域。